文献类型：期刊文献

中文题名：氟硅酸盐制取四氟化硅的研究进展

英文题名：Research Progress on Preparation of Silicon Tetrafluoride from Fluorosilicate

作者：蔡苗 唐安江 王乐深 何元琴 何磊

第一作者：蔡苗

机构：[1]贵州大学化学与化工学院;[2]贵州理工学院化学工程学院

第一机构：贵州大学化学与化工学院,贵阳550025

年份：2017

卷号：36

期号：3

起止页码：859-863

中文期刊名：硅酸盐通报

外文期刊名：Bulletin of the Chinese Ceramic Society

收录：CSTPCD;;北大核心:【北大核心2014】；CSCD:【CSCD2017_2018】；

语种：中文

中文关键词：四氟化硅;氟硅酸盐;分解;工艺

外文关键词：silicon tetrafluoride; fluorosilicate; dissociation; technology

摘要：SiF_4多被应用于电子行业和半导体行业,氟硅酸盐制备SiF_4是制备方法中的一种。本文介绍了氟硅酸盐的性质,制备方法,以及氟硅酸盐制备SiF_4的方法,并对部分氟硅酸盐制备SiF_4的条件及产物进行了对比。
SiF_4 is widely used in the electronics industry and the semiconductor industry,preparation of SiF_4 by fluorosilicate is a kind of preparation method. In this paper,the properties and preparation methods of fluorosilicate are introduced. The method of preparing SiF_4 by fluorosilicate is introduced. The conditions and products of SiF_4 prepared by fluorosilicate were compared.