文献类型：专利

中文题名：一种测定四氟化硅气体中杂质磷、硼、砷含量的方法

作者：唐安江 张丹辉 韦德举 黄崇 张妙鹤 蒋东海 魏娴 唐石云 仇伟 吴承燕

第一作者：唐安江

机构：[1]贵州理工学院;

第一机构：贵州理工学院

专利类型：发明专利

申请号：CN201810012631.3

申请日：20180105

申请人地址：550003 贵州省贵阳市云岩区蔡关路1号

公开日：20180424

代理人：刘艳

代理机构：52100 贵阳中新专利商标事务所

语种：中文

中文关键词：浓硫酸;吸收;吸收液;原子发射光谱法;四氟化硅气体;耦合等离子体;测试样品;吸收量;吸收瓶;杂质磷;沸石;配制;盛装;净化;分析

年份：2018

摘要：本发明公开了一种测定四氟化硅气体中杂质磷、硼、砷含量的方法，其特征在于：包括如下步骤；配制NaOH吸收液；将经浓硫酸吸收、含有沸石的浓硫酸吸收、浓硫酸吸收、浓硫酸吸收净化后的SiF4通入盛装前述NaOH吸收液的吸收瓶；控制SiF4气体的吸收量得到测试样品，并测定吸收的SiF4气体重量；用电感耦合等离子体原子发射光谱法分析气体中的磷、硼、砷含量。