文献类型：期刊文献

中文题名：电子材料气体乙硅烷的合成研究

英文题名：Research of Synthesis Process in Electronic Material Disilane Gas

作者：颜廷欢 唐安江 韦德举

第一作者：颜廷欢

机构：[1]贵州大学化学与化工学院;[2]贵州理工学院

第一机构：贵州大学化学与化工学院,贵州贵阳550025

年份：2015

卷号：42

期号：6

起止页码：31-32

中文期刊名：广东化工

外文期刊名：Guangdong Chemical Industry

语种：中文

中文关键词：乙硅烷;硅烷;太阳能电池;气相色谱仪

外文关键词：disilane; silane; solar cell; gas chromatography

摘要：乙硅烷是一种主要用于太阳能电池生产的电子气体,与硅烷相比具有沉积速率快、沉积温度低的优点。本实验采用卤代乙硅烷还原法制得了一定量的乙硅烷,并优化了反应装置连接线路。通过采用GC9560氦离子化气相色谱仪分析检测,本实验验证了反应物的添加顺序及反应物的添加比例对所得产物产率的影响。
Disilane is a kind of electronic gases which are mainly used in Solar cell manufacture and it has the advantage of fast deposition, low deposition temperature compared with silane. This experiment adopts Halogenated disilane reduction method to manufacture a certain amount of disilane, and it optimizes the reaction device connections. By adopting GC9560 helium ionized gas chromatography to analysis and test it, the experiment verify the effect of the adding order of reactant and the amount of reactant on the productive rate of product.