文献类型：期刊文献

中文题名：SiF_4气体中(SiF_3)_2O的净化方法

英文题名：Method of(SiF_3)_2O Purification from SiF_4 Gas

作者：韦德举 唐安江 张妙鹤 马翠翠

第一作者：韦德举

机构：[1]贵州理工学院;[2]贵州同净环保科技有限公司

第一机构：贵州理工学院

年份：2014

卷号：42

期号：15

起止页码：11-12

中文期刊名：广州化工

外文期刊名：Guangzhou Chemical Industry

基金：贵州理工学院科学基金项目(NO:xjzk20130814)

语种：中文

中文关键词：四氟化硅;六氟二甲硅醚;纯化

外文关键词：silicon tetrafluoride;hexafluorodlslloxane;purification

摘要：高纯度四氟化硅(SiF4)是电子工业中的一种重要原料,能用于光导纤维、太阳能电池和水泥硬化剂等的原料。详细介绍了SiF4气体中(SiF3)2O的生成原理和(SiF3)2O的净化方法,六氟二甲硅醚的纯化方法有活性炭吸附法,与含氟化氢的浓硫酸,氟气,氟化剂等物质发生反应,其中详细介绍了活性炭对四氟化硅气体中的杂质的净化效果。
Silicon tetrafluoride is an important raw material in electronic industry .It can also be used as raw material of optical fiber.solar cell and cement hardener.The generation principle of （ SiF3 ） 2 O from SiF4 gas are detailed described.The purification method of （ SiF3 ） 2 O mainly have activated carbon adsorption method.And with concentrated sulfuric acid containing hydrogen fluoride , fluorine gas and fluorinating agent reaction , The details of the purification effect of activated carbon on the four silicon fluoride impurities in gas.