文献类型：专利

中文题名：一种测定四氟化硅气体中杂质铅、铁、锌、铜、钙含量的方法

作者：韦德举 张丹辉 唐安江 黄崇 张妙鹤 蒋东海 魏娴 唐石云 仇伟 吴承燕

第一作者：韦德举

机构：[1]贵州理工学院;

第一机构：贵州理工学院

专利类型：发明专利

申请号：CN201810012347.6

申请日：20180105

申请人地址：550003 贵州省贵阳市云岩区蔡关路1号

公开日：20180622

代理人：刘艳

代理机构：52100 贵阳中新专利商标事务所

语种：中文

中文关键词：浓硫酸;吸收;四氟化硅气体;超纯水;火焰原子吸收光谱法;吸收量;吸收瓶;吸收液;沸石;配制;盛装;净化

年份：2018

摘要：本发明公开了一种测定四氟化硅气体中杂质铅、铁、锌、铜、钙含量的方法，其特征在于：包括如下步骤；配制超纯水作为吸收液；将经浓硫酸吸收、含有沸石的浓硫酸吸收、浓硫酸吸收、浓硫酸吸收净化后的SiF₄通入盛装前述超纯水的吸收瓶；控制SiF₄气体的吸收量，并测定吸收的SiF₄气体重量；用火焰原子吸收光谱法测定四氟化硅气体中杂质铅、铁、锌、铜、钙的含量。