文献类型：期刊文献

中文题名：高纯电子气体中金属杂质分析方法概述

作者：张文娟

第一作者：张文娟

机构：[1]贵州理工学院化学工程学院

第一机构：贵州理工学院

年份：2015

卷号：0

期号：21

起止页码：68-68

中文期刊名：化工管理

外文期刊名：Chemical Enterprise Management

基金：贵州理工学院自然科学基金项目

语种：中文

中文关键词：高纯气体;金属粒子;检测方法

摘要：本文概述了高纯电子气体中金属杂质的来源及测定特种气体中金属粒子的前处理方法和检测手段。选定检测手段从最初的单一仪器检测逐渐过渡到仪器间的联合检测。