文献类型：期刊文献

中文题名：特殊电子气-四氟化硅分析检测

英文题名：Special Electron Gas-silicon Tetrafluoride Analysis Test

作者：何元琴 唐安江 何磊 韦德举 蔡苗 王乐深

第一作者：何元琴

机构：[1]贵州大学;[2]贵州理工学院

第一机构：贵州大学,贵州贵阳550025

年份：2016

卷号：43

期号：5

起止页码：161-162

中文期刊名：广东化工

外文期刊名：Guangdong Chemical Industry

语种：中文

中文关键词：四氟化硅;分析;检测

外文关键词：silicon tetrafluoride; analysis; determination

摘要：四氟化硅是一种重要的特殊电子气体,可用于电子和半导体行业,高纯度的四氟化硅还可作为非晶体硅、硅烷、多晶体硅、光纤等制备的原料,文章介绍了四氟化硅气体中气体杂质、金属杂质及碘的分析检测方法,初步确定了四氟化硅气体中的杂质分析。
Silicon tetrafluoride is an important special electron gas. It can be used in the electronics and semiconductor industries, high purity silicon tetrafluoride can be as a non crystal silicon, silane, polycrystalline silicon, optical fiber preparation of raw materials. This paper introduces the analysis and detection methods about the gas impurities, metal impurities and iodine in silicon tetrafluoride gas, initially identifed the impurities analysis in silicon tetrafluoride gas.